支援到5nm!晶片工藝又一關鍵環節自主可控

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支援到5nm!晶片工藝又一關鍵環節自主可控

來源:怎樣不禿頂 釋出時間:2023-03-03 11:01

80多年前,魯迅在《中國人失掉自信力了嗎》裡寫到,我們自古以來,就有埋頭苦幹的人,有為民請命的人,有捨身求法的人……這就是中國的脊樑。

在那個羸弱的時代,魯迅依然堅持中國人要有自信力。

80多年後,當這個民族更加強盛更加堅強的時候,我們沒有理由不自信。

最近星空君讀到一個晶片工程師寫的一句話:一代人有一代人的長征,一代人有一代人的使命。我從前輩手裡接下了火把,我也會將火把繼承傳遞下去。

許多人提起晶片,言必稱光刻機、ASML,然而冷知識是,ASML的光刻機本來就是個偶爾。

在ASML研發出EUV光刻機之前,光刻機市場以佳能和尼康為主,只不過在賭未來的研發方向的時候,ASML成了那個贏家。

在製程面臨物理學極限和其他光刻機廠商窮追猛打的情況下,ASML能否還能引領下個十年是個未知數。

除了光刻機,晶片工業有數十個樞紐節點。在中國晶片行業受到“洽商”以來,這個行業迎來了前所未有的蛻變。從大量的出產環節高度依靠全球產業鏈,到儘可能的國產自主可控。

在半導體清洗裝置、半導體電鍍裝置和半導體拋銅裝置方面,盛美上海已經支援到了28nm及以下製程,其中半導體拋銅裝置支援到了5nm甚至3nm製程。

01

從美國盛美到盛美上海

支撐晶片行業的人才努力拼搏的,不僅僅是使命和情懷,還有資本。

1997年,IBM研究院公佈用銅互連技術代替鋁互連制技術來出產晶片,讓晶片的速度再進步15%。這項技術被稱為CMOS7S。

晶片技術從此進入銅質時代。

當時在美國從事半導體裝置研究的王暉,基於此理論,創造性地提出了可用於超薄仔晶層的多陽極區域性電鍍銅技術。

1998年,王暉與一群清華校友在矽谷創立了盛美半導體,主要從事半導體專用裝置的研發。

2006年,王暉回國創業,成立了盛美上海。當時中國的晶片工業剛剛起步,還遭到“漢芯事件”的打擊。王暉選擇了晶片國際巨頭無暇顧及但又至關重要節點:半導體清洗裝置。

公司的第一個真正意義上的大客戶,是韓國海力士。作為儲存晶片的巨頭,海力士最大的出產基地在無錫,盛美上海和海力士進行了深入合作。海力士2009年引入了盛美的清洗裝置,開展產品驗證。從產品進廠驗證到正式獲得訂單,盛美花了近2年的時間。

如今,盛美上海的大客戶名單裡,多了中芯國際、長江儲存、華虹半導體等海內晶片巨頭。

資料來源:同花順iFind,製圖:詩與星空

公司剛剛釋出了2022年年報,2022年營業收入28.73億元,2021年為16.21億元,同比增長77.25%;2022年歸屬於上市公司股東的淨利潤6.68億元,2021年為2.66億元,同比增長151.08%;2022年扣除非經常性損益後的歸屬於上市公司股東的淨利潤6.90億元,2021年為1.95億元同比增長254.27%。

半導體清洗裝置固然屬於非常細分的領域,但技術含量並不低。當資本的浪潮席捲而來的時候,公司憑藉核心技術坦然的迎接利潤。

年報顯示,公司憑藉進步前輩的技術和豐碩的產品線,已發展成為中國大陸少數具有一定國際競爭力的半導體裝置供應商,產品得到眾多國內外主流半導體廠商的認可,並取得良好的市場口碑。

跟著公司技術水平的不斷進步、產品成熟度以及市場對公司產品的認可度不斷晉升,公司業務開拓迅速,銷售收入持續增長,呈文期內保持持續盈利。

02

拓展新產品線

1978年,恢復高考第一年,17歲的王暉考入了清華大學精密儀器系。

之後,是他開掛的人生。

1984年赴日本大阪大學主攻半導體裝置及工藝的工學碩士及博士。畢業後先入美國辛辛那提大學電機系奈米實驗室從事博士後研究,後在美國矽谷從事半導體裝置及工藝研發工作。1998年,在矽谷創辦ACM Research,發明多陽極區域性電鍍銅、無應力銅拋光技術及工藝。2006年,帶隊歸國二次創業。

從履歷上看,和中微公司的尹志堯很像,中微公司在晶片製造極為樞紐的蝕刻機領域做到全球領先,甚至給臺積電供貨。

產業王冠上的珍珠,越來越少了。

公司在深耕半導體清洗裝置的同時,在以下幾個半導體領域實現了技術突破。

(1)立式爐管裝置

(2)塗膠顯影 Track 裝置

(3)等離子體增強化學氣相沉積 PECVD 裝置

(4)進步前輩封裝用金屬剝離溼法裝置

(5)新型化合物半導體系列溼法裝置

(6)矽材料襯底製造溼法裝置:化學機械研磨後(Post-CMP)清洗裝置

03

聯絡關係交易和資本運作

公司的股權比較集中,其中盛美(美國)持股82.5%,實控人為王暉。

不外,公司和幾個晶片巨頭息息相關。年報表露的關聯方情況顯示,NINEBELL(一家產業機器人公司)、合晶科技、上海積塔半導體都是公司的其他關聯方。

其中,NINEBELL是公司的產業機器人主要供應商之一,同時也是公司董事長王暉的實控公司。

2月6日,盛美上海公告稱,公司擬以自有資金1674萬美元(約合人民幣1.14億元)受讓Choi Moon-soo、Kang Young-sook和Choi Ho-yeon分別持有的NinebellCo.,Ltd.(以下簡稱“Ninebell”)13%、5%及2%股權。本次受讓完成後,公司將持有Ninebell20%股權。

經由運作盛美上海在科創板上市,併購NINEBELL等操縱,美籍身份的王暉個人身價已經數十億元。

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